LED正装芯片是最早出现的芯片结构,也是小功率芯片中普遍使用的芯片结构。该结构,电极在上方,从上至下材料为:P-GaN,发光层,N-GaN,衬底。所以,相对倒装来说就是正装。
为了避免正装芯片中因电极挤占发光面积从而影响发光效率,芯片研发人员设计了倒装结构,即把正装芯片倒置,使发光层激发出的光直接从电极的另一面发出(衬底最终被剥去,芯片材料是透明的),同时,针对倒装设计出方便LED封装厂焊线的结构,从而,整个芯片称为倒装芯片(Flip Chip),该结构在大功率芯片较多用到。
倒装技术并不是一个新的技术,其实很早之前就存在了。倒装技术不光用在LED行业,在其他半导体行业里也有用到。目前LED芯片封装技术已经形成几个流派,不同的技术对应不同的应用,都有其独特之处。
一:没有通过蓝宝石散热,可通大电流使用;
二:尺寸可以做到更小,光学更容易匹配;
三:散热功能的提升,使芯片的寿命得到了提升;
四:抗静电能力的提升;
五:为后续封装工艺发展打下基础。
什么是LED倒装芯片
倒装LED芯片,通过MOCVD技术在蓝宝石衬底上生长GaN基LED结构层,由P/N结发光区发出的光透过上面的P型区射出。由于P型GaN传导性能不佳,为获得良好的电流扩展,需要通过蒸镀技术在P区表面形成一层Ni- Au组成的金属电极层。P区引线通过该层金属薄膜引出。为获得好的电流扩展,Ni-Au金属电极层就不能太薄。为此,器件的发光效率就会受到很大影响,通常要同时兼顾电流扩展与出光效率二个因素。但无论在什麼情况下,金属薄膜的存在,总会使透光性能变差。此外,引线焊点的存在也使器件的出光效率受到影响。 采用GaN LED倒装芯片的结构可以从根本上消除上面的问题。
在倒装芯片的技术基础上,有厂家发展出了LED倒装无金线芯片级封装。什么是LED倒装无金线芯片级封装
LED倒装芯片普及的难点:
1、倒装LED技术目前在大功率的产品上和集成封装的优势更大,在中小功率的应用上,成本竞争力还不是很强。
2、倒装LED颠覆了传统LED工艺,从芯片一直到封装,这样会对设备要求更高,就拿封装才说,能做倒装芯片的前端设备成本肯定会增加不少,这就设置了门槛,让一些企业根本无法接触到这个技术。
正装 、倒装、垂直 LED芯片结构三大流派,其中正装和倒装又都可称为横向结构。于是LED芯片有两种基本结构,横向结构(Lateral)和垂直结构(Vertical)。
为了提高发光效率,人们开始进行其它衬底代替GaAs吸收衬底的研究。其中一种方法就是用对可见光透明的GaP衬底取代GaAs衬底(TS) ,即用键合技术将长有厚GaP窗口层的外延层结构粘接在GaP衬底上,并腐蚀掉GaAs衬底,其发光效率可提高一倍以上,同时GaP的透明特性使得发光面积大增。然而,该工艺存在合格率低、使用设备复杂、制造成本高的缺点。近年来,台湾开始进行了 倒装衬底AlGaInP红光芯片的制作研究,由于工艺适于批量化生产,且制造成本低,引起人们的广泛兴趣。
垂直芯片结构及工艺
本文介绍了我公司进行的AlGaInP红光垂直结构超高亮度LED芯片制作方法。首先进行MOCVD外延,再以高热导率Si、SiC、金属等材料作为衬底,将LED外延层粘接在其上并制成芯片。其结构为:工艺制作先在高热导率材料表面上蒸镀Au层作为反射镜面和粘接层, 并通过加热加压将LED外延层与高热导率衬底材料粘在一起, 再用选择腐蚀的方法将原GaAs衬底腐蚀剥离掉,再经蒸镀、刻蚀、表面粗化等工艺制成以高热导率材料为衬底的LED芯片。由于Au薄膜对红光、对黄光有非常高的反射率,并且可反射所有入射角度的光(q a90°) ,因而可使出光效率提高接近3倍。DBR 及金属反射层的反射率计算和测试结果 (a)DBR 结构计算的法向反射谱
LED 性能测试结果
表1:相同有源区结构不同衬底12mil红光LED芯片参数比较(I=20mA条件下测量)
表1为12mil尺寸管芯,不同衬底红光LED芯片的光电性能测试结果。从表中可以看到20mA测试电流下,虽然镜面衬底LED芯片电压略有所提升,从 1.9V升至1.92V(如图3) ,但是其亮度提高了3倍,其主要原因是镜面衬底自身高的反射率且可反射各个角度入射的光,另外表面粗化有效的减弱光在材料内部的多次反射,折射及吸收,给光子提供了更多的出射机会;而镜面衬底LED电压的提高主要是由于粗化后芯片表面粗糙度增大,影响电流的传输,同时粘接层也使电 压有所上升。
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