LED蓝宝石基板参数分析
1:蓝宝石详细介绍 蓝宝石的组成为氧化铝(Al2O3)，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成,其晶体结构为六方晶格结构.它常被应用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane.由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性.因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上，它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高（2045℃）等特点，它是一种相当难加工的材料，因此常被用来作为光电元件的材料。目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质，而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关，蓝宝石(单晶Al2O3)C面与Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN 磊晶制程中耐高温的要求，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料.分子式Al2O3
密度3.95-4.1克/立方厘米
晶体结构六方晶格
晶格常数 a=4.785Å, c=12.991Å
莫氏硬度9 (仅次于钻石:10)
熔点2045℃
沸点3000℃
热膨胀系数5.8×10-6 /K
比热 0.418W.s/g/k
热导率
25.12W/m/k(@ 100℃)
折射率no=1.768 ne =1.760
dn/dt13x10-6 /K(@633nm)
透光特性T≈80%(0.3～5μm)
介电常数11.5(∥c),9.3(⊥c)
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